1、全球干式真空泵行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模2019年全球干式真空泵市場(chǎng)規(guī)模為60 億美元,預(yù)計(jì) 2020-2026年干式真空泵市場(chǎng)規(guī)模的年復(fù)合增長(zhǎng)率為 5.5%。
(1)集成電路領(lǐng)域干式真空泵市場(chǎng)規(guī)模干式真空泵是半導(dǎo)體各制程中必備的通用設(shè)備,應(yīng)用于單晶拉晶、Load-Lock、刻蝕、CVD、原子層沉積(ALD)、封裝、測(cè)試等清潔或嚴(yán)苛制程。受益于近年來集成電路產(chǎn)業(yè)的穩(wěn)定增長(zhǎng),干式真空泵產(chǎn)業(yè)也保持著持續(xù)穩(wěn)步的發(fā)展態(tài)勢(shì)。以 12 英寸晶圓生產(chǎn)線為例,每 3.5 萬片/月產(chǎn)能需要約 2,000 臺(tái)真空泵。2019 年全球晶圓在運(yùn)產(chǎn)能折合 12 英寸約 869 萬片/月,假設(shè)存量干式真空泵每年更換 20%(晶圓制造企業(yè)對(duì)干式真空泵的折舊年限一般為 5 年),按單臺(tái)干式真空泵均價(jià) 10 萬元估算,2019 年全球集成電路領(lǐng)域干式真空泵存量替換市場(chǎng)規(guī)模約 100 億元。
(2)光伏領(lǐng)域干式真空泵市場(chǎng)規(guī)模干式真空泵是光伏產(chǎn)業(yè)的晶體生長(zhǎng)和硅片生產(chǎn)的必備設(shè)備。2019年度大陸硅片產(chǎn)能 173.7GW,晶體生長(zhǎng)和硅片生產(chǎn)每 GW 需要約 200 臺(tái)干式真空泵。根據(jù)隆基股份、中環(huán)股份、晶澳科技、晶科能源等光伏產(chǎn)品制造商的公告,預(yù)計(jì) 2020 年-2022 年每年將新增硅片產(chǎn)能約 50GW,亦即每年因新增硅片產(chǎn)能增加干式真空泵市場(chǎng)需求約 7 億元。綜上,預(yù)計(jì)未來幾年光伏產(chǎn)業(yè)對(duì)干式真空泵的市場(chǎng)需求為每年 12-15 億元。(3)干式真空泵在其他產(chǎn)業(yè)應(yīng)用情況除集成電路和光伏產(chǎn)業(yè)外,干式真空泵作為通用設(shè)備,由于其具備良好的潔凈真空特性和可靠性,因而是 LED 產(chǎn)業(yè)的外延片生長(zhǎng)和芯片制造、平板顯示產(chǎn)業(yè) PVD 等工藝環(huán)節(jié)真空環(huán)境獲得的主要設(shè)備。此外,干式真空泵在鋰電池烘干工序,以及化工等產(chǎn)業(yè)中均有應(yīng)用。
2、干式真空泵行業(yè)發(fā)展面臨的機(jī)遇與挑戰(zhàn)
(1)行業(yè)發(fā)展面臨的機(jī)遇產(chǎn)業(yè)政策大力支持由于各種電子技術(shù)都基于半導(dǎo)體材料來實(shí)現(xiàn),幾乎所有電子產(chǎn)品如 PC、消費(fèi)電子、通信設(shè)備等的重要單元均與半導(dǎo)體有著極為密切的關(guān)聯(lián),因此半導(dǎo)體是電子產(chǎn)品的重要組成部分,承擔(dān)了信息的載體和傳輸功能,是整個(gè)信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展基石。集成電路產(chǎn)業(yè)已成為國(guó)民經(jīng)濟(jì)中基礎(chǔ)性、關(guān)鍵性和戰(zhàn)略性的產(chǎn)業(yè)。近年來,在產(chǎn)業(yè)、財(cái)稅、金融等方面出臺(tái)多項(xiàng)政策支持集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展,包括《新時(shí)期促進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的若干政策》、《進(jìn)一步鼓勵(lì)軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展若干政策》、《關(guān)于進(jìn)一步鼓勵(lì)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展企業(yè)所得稅政策的通知》、《國(guó)民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展第十三個(gè)五年(2016-2020)規(guī)劃綱要》等,為集成電路裝備制造企業(yè)的發(fā)展創(chuàng)造了良好市場(chǎng)與政策環(huán)境的同時(shí),也對(duì)產(chǎn)業(yè)發(fā)展制定了目標(biāo)與規(guī)劃。下游市場(chǎng)需求增長(zhǎng)我國(guó)本土集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展雖起步較晚,但近年來發(fā)展迅速,行業(yè)增速快。數(shù)據(jù)顯示,2019年集成電路產(chǎn)業(yè)銷售額達(dá)7,562億元,占全球集成電路市場(chǎng)銷售額的32.87%,我國(guó)已超過美國(guó)、歐洲和日本,成為全球較大的集成電路市場(chǎng)。與此同時(shí),物聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、人工智能、5G 通信、智能駕駛等新型基礎(chǔ)設(shè)施和新型應(yīng)用領(lǐng)域?qū)砭薮蟮男酒隽啃枨?,為干式真空泵產(chǎn)品提供廣闊的市場(chǎng)空間。全球半導(dǎo)體產(chǎn)能逐步向我國(guó)轉(zhuǎn)移。經(jīng)歷了 20 世紀(jì) 70 年代由美國(guó)轉(zhuǎn)向日本,以及 20 世紀(jì) 80 年代轉(zhuǎn)向韓國(guó),目前半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正在經(jīng)歷向大陸的第三次轉(zhuǎn)移。目前,擁有全球規(guī)模較大且增長(zhǎng)快的集成電路消費(fèi)市場(chǎng)。受益于龐大的消費(fèi)市場(chǎng)以及產(chǎn)業(yè)政策的大力支持,國(guó)內(nèi)集成電路制造企業(yè)中芯國(guó)際、華虹集團(tuán)、長(zhǎng)江存儲(chǔ),以及臺(tái)積電、三星、英特爾等境外企業(yè)均加大在大陸的投資以擴(kuò)張產(chǎn)能。集成電路生產(chǎn)能力的不斷提升,有利于國(guó)內(nèi)裝備制造企業(yè)積累研發(fā)及管理經(jīng)驗(yàn)、降低生產(chǎn)成本以及加快人才培養(yǎng),促進(jìn)國(guó)內(nèi)裝備制造企業(yè)的快速發(fā)展。